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白光干涉薄膜厚度测量仪
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白光干涉薄膜厚度测量仪

类型 自主产品
型号 DELTA
品牌 半岛·体育BOB官方网站
产品详情

产品介绍   

Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量nk值。

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

技术原理

  • 应用领域

    半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMSSOI等)

    LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO)

    LED (SiO2、光刻胶ITO等)

    触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

    汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)

    医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

    技术参数


    型号
    Delta-VIS
    Delta-DUV
    Delta-NIR
    波长范围
    380-1050nm
    190-1100nm
    900-1700nm
    厚度范围
    50nm-40um
    1nm-30um
    10um-3mm
    准确度1
    2nm
    1nm
    10nm
    精度
    0.2nm
    0.2nm
    3nm
    入射角
    90°
    90°
    90°
    样品材料
    透明或半透明
    透明或半透明
    透明或半透明
    测量模式
    反射/透射
    反射/透射
    反射/透射
    光斑尺寸2
    2mm
    2mm
    2mm
    是否能在线
    扫描选择
    XY可选
    XY可选
    XY可选


    注:1.取决于材料0.4%2nm之间取较大者。

           2.可选微光斑附件。

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